Beth yw Effaith Tymheredd Arwyneb Waffer ar Ysgythriad Sych?

Mae effeithiau tymheredd arwyneb ar ysgythru sych yn bennaf yn cynnwys: dyddodiad polymer, detholusrwydd, llif ffotoresist, anweddolrwydd cynnyrch a chyfradd ysgythru, morffoleg wyneb, ysgythru, ysgythru.

Dyddodiad polymer: Mae polymerau a gynhyrchir yn ystod y broses yn cael eu hadneuo ar yr wyneb, gan effeithio ar gyfradd ysgythru a detholusrwydd. Mae tymheredd yn effeithio ar gyfradd dyddodiad a sefydlogrwydd polymerau, gyda thymheredd uchel yn dadelfennu neu'n gostwng yr haenau dyddodiad, a thymheredd isel yn cynyddu dyddodiad polymerau.

0021-09835 R2Mae leinin yn rhan etch.
Detholusrwydd: Mae detholusrwydd deunyddiau ysgythru a deunyddiau masgio yn sensitif iawn i dymheredd. Bydd tymheredd sy'n rhy uchel yn lleihau detholusrwydd etch oherwydd bydd cyflymiad y gyfradd ysgythru yn cyd-fynd â'r mwgwd ysgythru. Ffotoresist: Pan fydd y ffotoresist yn llifo ar dymheredd uchel, bydd y ffotoresydd yn meddalu, yn llifo a hyd yn oed pothell, gan arwain at ystumio'r dopograffeg.
Anweddolrwydd cynnyrch a chyfradd ysgythru: Mae tymheredd yn effeithio ar anweddolrwydd sgil-gynhyrchion adweithiau cemegol, ac mae sgil-gynhyrchion yn fwy cyfnewidiol ar dymheredd uchel, sy'n helpu i gynyddu'r gyfradd ysgythru. Mae tymereddau isel, ar y llaw arall, yn arwain at weddillion sgil-gynnyrch ac yn lleihau effeithlonrwydd ysgythru.
Topograffeg ysgythru: Mae'r tymheredd ysgythru yn agos at dymheredd trawsnewid gwydr (Tg) y deunydd, ac mae topograffeg yr wyneb yn unffurf. Mae'r tymheredd ysgythru yn llawer is na'r tymheredd pontio gwydr, ac mae'r ysgythriad arwyneb yn anwastad ac mae'r garwedd yn fawr.